半導体・エレクトロニクス
半導体は、集積回路、家庭用電化製品、通信システム、太陽光発電、照明、高出力電力変換などの分野で使用されています。技術の観点から見ても、経済発展の観点から見ても、半導体の重要性は非常に大きいです。一般的な半導体材料にはシリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素などが含まれますが、シリコンはさまざまな半導体材料の応用において最も影響力のある材料です。
ウェハースクライビングマシン ☞
シリコンウェーハのスクライビングは、「バックエンド」組み立てプロセスの最初のステップであり、半導体製造における重要なリンクです。このプロセスでは、後続のチップボンディング、リードボンディング、およびテスト操作のためにウェハを個々のチップに分割します。
ウェーハソーター ☞
ウェーハソーターは、さまざまな製品やプロセスの生産ニーズを満たすために、直径や厚さなどのサイズパラメータに従って生産されたウェーハを分類およびグループ化できます。同時に、欠陥のあるウェーハがスクリーニングされ、合格したウェーハのみが次の処理およびテストのステップに進むことが保証されます。
試験装置 ☞
半導体デバイスの製造では、半導体枚葉から最終製品に至るまで、数十、場合によっては数百の工程を経験する必要があります。さまざまな製品の生産状況に応じて、製品の性能が認定され、安定して信頼性が高く、高い歩留まりを確保するには、すべてのプロセスステップに厳密な特定の要件が必要です。したがって、対応するシステムと正確な監視手段を、まず半導体プロセスの検査から始めて、生産プロセスで確立する必要があります。